真空漏率指的是相對負壓封閉空間進入氣體的速率，漏率單位：Pam3/s 或 PaL/s（解讀為帕斯卡乘以立方米每秒或帕斯卡乘以升每秒）。
眾所周知，一臺合格的真空閥出廠前一定要經過檢測，它的真空度是否達到標準，閥門是否存在泄漏的情況。真空檢漏就是漏氣速率，在檢測真空系統的漏氣部位及其大小的一種過程。
漏氣可以分為實漏和虛漏。實漏，是氣體通過系統上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側的現象。虛漏，是相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發、氣體通過器壁的滲透及系統內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統中氣體壓力升高的現象。氣密性是表征真空系統器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的最小值。最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測出的最小漏率。對于檢漏儀器來講，最佳靈敏度又稱作儀器靈敏度。檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱作有效靈敏度。
而真空技術中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小時，如果不加特殊說明，則是指在漏孔入口壓力為1.01×10的5次方Pa，出口壓力低于1.33×10的3次方Pa，溫度為296士3K的標準條件下，單位時間內流過漏孔的露點溫度低于248K的空氣的氣體量。漏率的單位是帕斯卡×立方米／秒，記為Pam3／s。為了方便，有時用帕斯卡×升／秒，記為PaL／s。